Este factor de forma fue desarrollado por la corporacin de Inter en el 1997. Las tarjetas del sistema micro ATX poseen un tamao reducido (9.6 pul x 9.6 pulg) en comparacin con las ATX tradicionales. Estas tarjetas del sistema pueden sustituirse por una ATX antigua puesto que son 100% compatibles. Representa un estndar para las tarjetas del sistema. Esta dirigida para el mercado de mediano a bajo.